第九五六章 研发极紫外光(3/4)

“汤普森院长预测光源研究所,能在多长的时间内研制成功极紫外光?”

孙健心中一喜,他不是不想投资研制极紫外光,而是担心投资太大,即使研制成功,没有配套的光学系统和相适应的光刻胶、掩膜版等,GCA也生产不出EUV光刻机!

前世,举国之力研制的EUV光源也没有结果,在世界上只有ASML控股的Cymer才能生产EUV光源,可见难度之大!

在光刻机光源方面,光刻机光源后起之秀Cymer如今还不是GCA的对手。

Cymer前世能成为光刻机光源的霸主,除了被ASML收购后不断投入巨资研发外,也有ASML将收购的GCA光刻机光源研究所并入Cymer光刻机光源研究院,强强联合。

前世,极紫外光技术的研发成功,不知道汤普森院长在其中发挥的作用?

GCA光刻机半导体研究院的研究重心应该放在技术领先的ArF准分子激光器和KrF光刻胶研制上。

GCA与IBM同是Sematech会员,赢者通吃,避免重复研究,不担心IBM卡B子,IBM垄断KrF光刻胶十几年,但不知道什么原因?前世是信越化学等日本公司在光刻胶上一枝独秀,还卡了韩国人的脖子!

“孙董事长,只要能保障光源研究所的研发经费,我保证光源研究所三年内研制成功极紫外光。”

“汤普森院长,光源研究所需要多少研发经费?”

汤普森院长不是年轻人,敢打包票,就说明有绝对的把握,重生者不怕花钱!一旦攻克了EUV,能否生产EUV光刻机?GCA都会成为光刻机行业的领导者!

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