第九五一章 双喜临门（4/5）
第一台光刻机悬浮式双工作台系统样机的研制成功只开始，如今只适应4英寸晶圆、程工艺，还5英寸晶圆、6英寸晶圆、8英寸晶圆、12英寸晶圆1u800n500n350n…制程工艺，干式浸入式光刻双工作台系统，项目众多，技术复杂，提升光刻机的制程工艺工作效率潜力挖。
BSEC将成为世界自主研发并实现商业化生产光刻机悬浮式双工作台系统的唯一供应商，钱途远。
光刻机悬浮式双工作台系统将成为BSEC的核心专利技术，也世界光刻机产业扬名立万的核心专利技术。
第一台光刻机悬浮式双工作台系统样机的研制成功，BSEC也掌握了1u程工艺。
双喜临门！
啪啪……
众羡慕，钟德伟也为学生高兴。
“资重奖光刻机悬浮式双工作台项目联合攻关组二百万元，另外奖励钟顾问二十万元，邓院长夏教授各十五万元。”
BSEC将为钟德伟申报今年的科技进步奖。
啪啪……
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